激光器是現代激光加工系統中必不可少的核心組件之一。隨著激光加工技術的發展，激光器也在不斷向前發展，出現了許多新型激光器。早期激光加工用激光器主要是大功率CO2氣體激光器和燈泵浦固體YAG激光器。從激光加工技術的發展歷史來看，首先出現的激光器是在20世紀70年代中期的封離式CO2激光管，發展至今，已經出現了第五代CO2激光器擴散冷卻型CO2激光器。從發展上可以看出，早期的CO2激光器趨向激光功率提高的發展方向，但當激光功率達到一定要求后，激光器的光束質量受到重視，激光器的發展隨之轉移到調高光束質量上。出現的接近衍射極限的擴散冷卻板條式CO2激光器有較好的光束質量，已經推出就得到了廣泛的應用，尤其是在激光切割領域，受到眾多企業的青睞。