凈室系統，制造匹配規格之潔凈空氣，連續且穩定供給足夠之潔凈空氣于使用端，凈室內的制造區（FAB）。一般而言，制造潔凈空氣之氣源為外氣（OUTSIDE AIR），經過凈室系統各種處理單元設備之處理后進而得到匹配規格之潔凈空氣。以下簡單介紹其處理流程：外氣經由外氣空調箱（Make-up Air Unit或MAU）初步過濾微塵（particle）并控制其溫濕度后，經由回風管道間（Mech. Chase），將凈室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合，經由冷卻盤管（Dry Cooling Coil）將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規格，透過循環風扇（Fan Filter Unit或FFU）帶動凈室的氣流循環帶走微塵及熱量，后經過超高性能過濾網（Ultra-low penetration air或ULPA Filter）過濾后，供應至Fab區。
所需的外氣較多由于半導體工廠中，制程系統需使用大量的化學品和毒氣，這些化學品和毒氣所產生的揮發氣體和廢氣必須予以全數排除，故排氣量相當大，為維持凈室壓力比外面的大氣壓力大，此時所補充的空氣量亦隨之增加。
標準廠房設計規范
一、工業廠房設計必須貫徹執行國家的有關方針政策，做到技術先進、經濟合理、適用、確保質量，符合節約能源和環境保護的要求。
二、本規范適用于新建和改建、擴建的工業廠房設計，但不適用于以為控制對象的生物潔凈室。本規范有關防火和疏散、消防設施章節的規定，不適用于建筑高度超過24米的高層工業廠房和地下工業廠房的設計。
三、條在利用原有建筑進行潔凈技術改造時，工業廠房設計必須根據生產工藝要求，因地制宜、區別對待，充分利用已有的技術設施。
四、工業廠房設計應為施工安裝、維護管理、測試和運行創造必要的條件。
五、工業廠房設計除應按本規范執行外，尚應符合現行的國家標準、規范的有關要求。
六、工業廠房是由獨立一棟建筑物（車間），和獨立一棟建筑物（宿舍），兩棟建筑物之間距離標準是10米，近不得少于5米，以便消驗收合格。建筑物的占地面積與建筑面積的比例是1：3。
在一個建設場地內，確定各廠房設計方案時，宜使構配件的類型統一。
在技術經濟合理的基礎上，廠房的體形應力求簡單，避免設置縱橫跨和多跨廠房中的高度差。
在編制廠房建筑構配件標準設計圖集時，應使用途相同的構配件具有限度的互換性。
廠房建筑設計除應符合本標準的有關規定外，還應符合現行有關國家標準的規定。
