火法-濕法聯合工藝
結合兩種工藝優勢提升效率：
廢靶材先經回轉窯1200℃揮發富集，銦含量從0.1%提升至0.5%。
富銦煙塵通過酸浸-萃取-電解流程精煉，整體回收率從傳統工藝的54%提升至85%。
該方案投資成本較單一濕法降低30%，但需配套煙氣凈化系統防止銦揮發損失。
總結：隨著光伏和顯示面板產業擴張，2025年中國ITO靶材回收市場規模預計突破50億元。物理法因成本優勢（處理成本2000元/噸）在中小型企業普及，而大型企業更傾向聯合工藝（綜合回收率>90%）。
未來發展方向將聚焦：短流程設計（工序減少40%）、智能化控制系統（能耗降低25%）、以及銦錫同步回收技術的突破。
隨著科技的飛速發展，ITO靶材的需求量持續增長。然而，ITO靶材的生產過程中需要消耗大量的銦資源，而銦是一種稀有的有色金屬，全球儲量有限。因此，ITO靶材的回收再利用不僅有助于節約資源，還能減少環境污染，實現可持續發展。
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