ITO靶材,全稱氧化銦錫靶材,是一種專門用于磁控濺射鍍膜的材料。氧化銦錫(簡稱ITO)是一種n型半導體材料,通常由90%的氧化銦(In?O?)和10%的氧化錫(SnO?)組成。這種材料以其的透明度和導電性,成為現代電子工業(yè)中不可或缺的組成部分。無論是智能手機的觸摸屏、平板電腦的顯示面板,還是太陽能電池的透明電極,ITO靶材都以其獨特的功能支撐著這些設備的運行。
ITO靶材的核心用途是在磁控濺射工藝中作為“濺射源”。磁控濺射是一種常見的薄膜沉積技術,通過高能離子轟擊靶材表面,使靶材原子被“敲擊”出來,終沉積在基板上,形成一層均勻的ITO薄膜。這層薄膜厚度通常在幾十到幾百納米之間,卻能同時實現導電和透光的功能。
銦靶材主要由金屬銦制成,具有質軟、延展性好和導電性強的特點。作為稀有金屬,銦在自然界的含量稀少,但其獨特的物理和化學性質使其成為眾多高科技產品的核心組件。銦靶材廣泛應用于航空航天、電子工業(yè)等領域,是制造高性能電子元器件的關鍵材料。
區(qū)別對比
?成分差異:銦靶材為純金屬銦制成,而ITO靶材則是銦錫氧化物的復合物。
?用途不同:銦靶材主要用于需要高導電性和延展性的領域,如航空航天部件;ITO靶材則因其透明導電性廣泛應用于光電顯示領域。
?性能特點:銦靶材更側重于導電性和機械強度,而ITO靶材則兼顧導電性和光學透明性。

