主要應用場景
半導體封裝載板:實現芯片與基板的電連接,提升散熱效率。
PCB 高頻載板:增強信號傳輸穩(wěn)定性,降低損耗。
精密電子載板:提高表面耐磨性和抗腐蝕能力,延長使用壽命。
IC 載板電鍍加工是半導體封裝領域的核心工藝,專為 IC 載板(如 ABF 載板、BT 載板)沉積高精度金屬鍍層,核心作用是實現芯片與基板的可靠電連接、提升散熱與抗腐蝕性能。
面板級加工:扇出型封裝常采用面板級封裝(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板級電鍍設備可加工尺寸高達 515x510 毫米的面板,相比傳統(tǒng)晶圓級封裝,能提高生產效率,降低成本。
高精度要求:需滿足高密度互連(HDI)、超細線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)的要求,對鍍層均勻性、致密度、附著力、純度等方面要求,例如銅鍍層孔隙率需≤1 個 /cm2。
復雜結構處理:對于埋入式扇出型封裝結構,可能存在深寬比較大的通孔,電鍍時需要特殊工藝處理,以避免產生空洞等缺陷。
通訊載板電鍍加工工藝特點
高精度要求:通訊載板通常需要處理超細線路,線寬 / 焊盤尺寸常小于 20μm,鍍層厚度偏差需控制在 ±10% 以內,部分場景甚至要求≤±8%,以保證信號的穩(wěn)定傳輸。
高可靠性:通訊設備需要在各種環(huán)境下穩(wěn)定工作,因此通訊載板電鍍層需具備良好的附著力,如銅鍍層附著力≥0.8N/mm,同時要通過長時間的濕熱試驗、鹽霧試驗等可靠性測試,以確保在惡劣環(huán)境下不出現鍍層脫落、腐蝕等問題。
高頻性能優(yōu)化:為滿足通訊領域高頻信號傳輸的需求,電鍍工藝需通過脈沖電鍍等技術控制銅晶粒取向,降低信號傳輸損耗,如在 5G 基站射頻板中,可降低 10GHz 毫米波傳輸損耗。
