IC 載板電鍍加工是半導體封裝領域的核心工藝,專為 IC 載板(如 ABF 載板、BT 載板)沉積高精度金屬鍍層,核心作用是實現(xiàn)芯片與基板的可靠電連接、提升散熱與抗腐蝕性能。
面板級加工:扇出型封裝常采用面板級封裝(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板級電鍍設備可加工尺寸高達 515x510 毫米的面板,相比傳統(tǒng)晶圓級封裝,能提高生產(chǎn)效率,降低成本。
高精度要求:需滿足高密度互連(HDI)、超細線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)的要求,對鍍層均勻性、致密度、附著力、純度等方面要求,例如銅鍍層孔隙率需≤1 個 /cm2。
復雜結構處理:對于埋入式扇出型封裝結構,可能存在深寬比較大的通孔,電鍍時需要特殊工藝處理,以避免產(chǎn)生空洞等缺陷。
關鍵技術
電鍍液配方:例如酸性銅盲孔填充電鍍液通常為高濃度的銅(200g/L 至 250g/L 硫酸銅)和較低濃度的酸(約 50g/L 硫酸),并添加抑制劑、光亮劑和整平劑等有機添加劑,以控制電鍍速率,獲得良好的填充效果和物理特性。
添加劑控制:通過控制添加劑的濃度和比例,利用抑制劑、光亮劑和整平劑的不同作用,實現(xiàn)盲孔的自下而上填充,避免大凹陷、敷形填充等問題,同時保證鍍層的均勻性和表面質量。
電子載板電鍍加工主流工藝類型
電解電鍍:適用于大批量、高厚度鍍層需求(如銅鍍層≥3μm),成本較低,效率高。
化學鍍:無需通電,鍍層均勻性好,適配復雜結構載板(如盲孔、細線路),常用于打底鍍層。
脈沖電鍍:減少鍍層晶粒大小,提升硬度和耐磨性,適配高頻、高功率電子載板。
