IC 載板電鍍加工是半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域的核心工藝,專為 IC 載板(如 ABF 載板、BT 載板)沉積高精度金屬鍍層,核心作用是實(shí)現(xiàn)芯片與基板的可靠電連接、提升散熱與抗腐蝕性能。
關(guān)鍵成本與質(zhì)量控制點(diǎn)
成本核心:金鹽、銅鹽等貴金屬原料占比高(約占原材料成本的 30%-40%),細(xì)線路加工導(dǎo)致的良率損耗會顯著推高單位成本。
質(zhì)量控制:需檢測鍍層厚度(XRF 檢測)、附著力(膠帶測試)、耐腐蝕性(鹽霧測試),以及線路完整性(AOI 檢測)。
通訊載板電鍍加工工藝特點(diǎn)
高精度要求:通訊載板通常需要處理超細(xì)線路,線寬 / 焊盤尺寸常小于 20μm,鍍層厚度偏差需控制在 ±10% 以內(nèi),部分場景甚至要求≤±8%,以保證信號的穩(wěn)定傳輸。
高可靠性:通訊設(shè)備需要在各種環(huán)境下穩(wěn)定工作,因此通訊載板電鍍層需具備良好的附著力,如銅鍍層附著力≥0.8N/mm,同時要通過長時間的濕熱試驗(yàn)、鹽霧試驗(yàn)等可靠性測試,以確保在惡劣環(huán)境下不出現(xiàn)鍍層脫落、腐蝕等問題。
高頻性能優(yōu)化:為滿足通訊領(lǐng)域高頻信號傳輸?shù)男枨螅婂児に囆柰ㄟ^脈沖電鍍等技術(shù)控制銅晶粒取向,降低信號傳輸損耗,如在 5G 基站射頻板中,可降低 10GHz 毫米波傳輸損耗。
半加成工藝載板電鍍是一種用于制造高精度電子載板的工藝方法,在半導(dǎo)體封裝等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。以下是關(guān)于它的詳細(xì)介紹:
工藝原理:半加成法(SAP)的核心是通過 “逐步沉積銅層” 形成電路。先在絕緣基板表面制備超薄導(dǎo)電層,即種子層,再通過光刻技術(shù)定義線路圖形,對圖形區(qū)域電鍍加厚銅層,去除多余部分后形成完整電路。改良型半加成法(mSAP)則是在基板上預(yù)先貼合 3-9μm 的超薄低輪廓銅箔作為基銅,再進(jìn)行后續(xù)操作。
工藝流程
基材準(zhǔn)備:使用表面平整的超薄銅箔基板或無銅基材,如 1-2μm 厚銅層的基板或 ABF 薄膜等。
化學(xué)沉銅:通過化學(xué)沉積在基材表面形成 0.3-0.8μm 的薄銅層,作為導(dǎo)電基底,即種子層。
圖形電鍍銅:對露出的種子層區(qū)域進(jìn)行電鍍加厚,使線路達(dá)到設(shè)計厚度,通常至 5-15μm,形成導(dǎo)線主體。
去膠與蝕刻:移除光刻膠或干膜,然后蝕刻掉未被電鍍覆蓋的薄種子層銅,由于種子層厚度極薄,蝕刻側(cè)蝕極小。
表面處理:進(jìn)行沉金、OSP、沉錫等表面處理,以滿足后續(xù)封裝和焊接等工藝的要求。
